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助攻MIT次世代半導體材料 中山大學6吋晶體技轉5千萬

(記者李靜音/高雄報導)國立中山大學晶體研究中心是臺灣唯一能生長次世代半導體碳化矽(SiC)的實驗室,已率先成功生長出直徑6吋的碳化矽晶體塊材。中山大學材料與光電科學學系教授兼晶體研究中心主任周明奇指出,研發過程結合中鋼、中鋼碳素等國內企業專業,除在石墨隔熱材料、坩堝及晶體生長設備等領域助攻MIT產業升級,今年7月起更技轉臺灣應用晶體公司及其所屬集團,簽訂5年5千萬技術移轉案,助攻臺灣半導體材料領航優勢。

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第三類(次世代)半導體材料碳化矽(SiC)已發展數十年,具備低耗損、高功率、低雜訊、散熱佳等不可取代的特性,但晶體生長的技術門檻高。周明奇強調,第三類半導體材料碳化矽晶體是國家的重要戰略物資,可多元應用於電動車、光電、衛星通訊、國防、生醫等領域,中山大學團隊創全國學研單位之先,已取得晶體生長關鍵突破,成功生長6吋導電型(n-type)4H碳化矽單晶,並在品質穩定、生長速度等面向持續優化。
 
周明奇表示,今年7月起,中山大學將6吋碳化矽晶體相關技術移轉至臺灣應用晶體公司及其所屬集團,並簽訂5年5千萬的高額技轉案,以每年1千萬專屬授權的買斷合約形式進行,這也代表該集團正式跨入次世代半導體領域。雙方於未來5年在6吋、8吋大尺寸的導電型(n-type)與半絕緣型(Semi-insulating Silicon Carbide; SI.-SiC)4H、6H碳化矽單晶,都將攜手合作。(圖/中山大學提供)

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